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收藏  |   舉報 2017-07-19 23:33   關(guān)注:247   回答:0

BD蝕刻劑 哪里有啊

待解決 懸賞分:1 - 離問題結(jié)束還有

本品是加緩沖劑改進(jìn)的蝕刻劑,用于蝕刻磷硅玻璃-SiO2 (PSG)和硼硅玻璃SiO2 (BSG)體系、鈍化晶體管表面。BD蝕刻劑PSG/SiO2比率低,可把PSG鈍化膜下蝕現(xiàn)象降到最低。

 

BD蝕刻劑的蝕刻特點(diǎn)

 

20

25

30

介電質(zhì)材料

?/

?/

?/

熱生長 SiO2

0.87

1.22

1.72

PSG (6摩爾% P2O5)

1.85

2.47

3.35

蝕刻比率 (PSG/SiO2)

2.12

2.02

1.95

注:蝕刻比率值隨PSGBSG的組成而改變。

 

應(yīng)用

用作浸泡型蝕刻劑從接觸片上去除SiO2而不傷損PSG膜。在硅晶體管晶片接觸孔金屬化之前,首先使用蝕刻劑,而后用水和乙醇沖洗之。


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